亚洲人成在线观看|亚洲老妇女亚洲老熟女|久久婷婷品香蕉频线观|久久国产亚洲AV无码麻豆|国产午夜精品一区一区三区|激情五月开心五月综合婷婷|精品日韩av一区二区三区四区|精品国产亚洲人成在线观看91

服務(wù)熱線:0769-89392518 手機(jī):13549365158

石墨制品表面如何氣相層積處理

作者:http://m.fireforce101.com 發(fā)布時(shí)間:2019-08-29 11:35:23

一種石墨件表面沉積碳化硅的方法,包括如下步驟:(1)石墨表面除雜:首先將石墨件表面的雜質(zhì)通過(guò)形成金屬鹵化物升華除去;(2)CVD沉積:將處理后的石墨件送入CVD反應(yīng)爐,通過(guò)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)在石墨件表面沉積碳化硅涂層。本發(fā)明通過(guò)在CVD反應(yīng)爐之前設(shè)置預(yù)處理爐,將石墨件含有的金屬雜質(zhì)通過(guò)與鹵族氣體反應(yīng)形成金屬氯化物升華除去,有利于純化石墨件,避免其含有的雜質(zhì)帶入后續(xù)的系統(tǒng)。另外,通過(guò)超聲清洗,進(jìn)一步清潔石墨件的表面,避免附著的顆粒物存在影響碳化硅涂層的結(jié)合強(qiáng)度。