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石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?

作者:http://m.fireforce101.com 發(fā)布時間:2019-09-12 16:03:57

石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?

石墨舟裝片房:用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求。

  石墨舟工作原理:
  空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū),從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。

  石墨舟主要特點:
  1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;
  2、采用不銹鋼制造,整機結(jié)構(gòu)堅固可靠;
  3、采用GK系列高效空氣過濾器3只;
  4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
  5、凈化風機噪音小于50dB。
  6、保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度100級。